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重磅:国产11代线高端量测设备(CDOL)交付TCL华星

 据悉,中(zhong)导(dao)光电设备(bei)股份有限公司(以下(xia)简称“中(zhong)导(dao)光电”)研(yan)制的国(guo)产11代线高(gao)端量测设备(CDOL:自动线(xian)宽测量机)近日(ri)正(zheng)式(shi)交付TCL华(hua)星T7工厂,这是(shi)中导(dao)光(guang)电(dian)继(ji)G8.5代线以(yi)下CDOL设备国产(chan)化之后又一次重要突破,标志着平板显(xian)示高端量测设备(CDOL)的短板(ban)全部补齐。

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 平板显(xian)示制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)业(ye)属于半(ban)导体工业(ye),是当(dang)代(dai)高端(duan)制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)的一个战略制(zhi)(zhi)(zhi)高点,因此(ci)也是《中国制(zhi)(zhi)(zhi)造(zao)2025》重点(dian)支持的产业(ye)(ye)领域,平(ping)板(ban)(ban)显(xian)(xian)(xian)示设(she)(she)备制造(zao)(zao)(zao)业(ye)(ye)则是平(ping)板(ban)(ban)显(xian)(xian)(xian)示制造(zao)(zao)(zao)业(ye)(ye)的基础和关(guan)键所在,成为重中(zhong)之(zhi)重。由于历史的原因,中(zhong)国平(ping)板(ban)(ban)显(xian)(xian)(xian)示设(she)(she)备长(zhang)期被国外(wai)几(ji)家(jia)半(ban)导(dao)体设(she)(she)备供(gong)应(ying)商所垄(long)断,尤其是前段(显(xian)(xian)(xian)示器面板(ban)(ban)在切割通(tong)电之(zhi)前的工(gong)艺过程)设(she)(she)备,由于技(ji)术(shu)门槛高,综合性大,制造(zao)(zao)(zao)工(gong)艺复杂,以及战略意义重大等特点(dian),一(yi)直是国外(wai)半(ban)导(dao)体设(she)(she)备供(gong)应(ying)商争夺(duo)的热点(dian),也是我(wo)国高端(duan)装(zhuang)备制造(zao)(zao)(zao)的主要短(duan)板(ban)(ban)之(zhi)一(yi)。

 在TFT-LCD制造领域,由于各厂商对成本与效(xiao)率指(zhi)标的追求,新产线投资主要向大世代方向发展,11代(dai)线是当(dang)前(qian)世界范围内的(de)(de)(de)(de)最大(da)世代(dai)产(chan)线。随着产(chan)线工(gong)艺尺寸(cun)的(de)(de)(de)(de)大(da)幅提升,以(yi)及就良品率(lv)指(zhi)标的(de)(de)(de)(de)进一步严苛(ke),对产(chan)线设备(bei)的(de)(de)(de)(de)各方面技(ji)术指(zhi)标提出(chu)了(le)更为苛(ke)刻的(de)(de)(de)(de)要求。中(zhong)导光电研发和(he)生(sheng)产(chan)的(de)(de)(de)(de)一系(xi)列检测和(he)量(liang)测设备(bei),正是提高产(chan)线良品率(lv)的(de)(de)(de)(de)、必不可少的(de)(de)(de)(de)重(zhong)要生(sheng)产(chan)设备(bei)。此次(ci)中(zhong)导光电11代线CDOL(关键尺寸(cun)量测)高端设(she)备(bei)的交付,是中导光电(dian)在(zai)填补多(duo)项国内该(gai)领域技(ji)(ji)术(shu)空白后的又一重大技(ji)(ji)术(shu)突(tu)破。

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 中(zhong)导光电(dian)成立于(yu)2006年,是一家长期专(zhuan)注于平板显示高端检(jian)测(ce)(ce)装备(bei)研(yan)发(fa)、生产与销(xiao)售的高新技术企(qi)(qi)业(ye)。公(gong)司创(chuang)始人团队(dui)全部来自于美国硅谷顶尖半导体(ti)检(jian)测(ce)(ce)装备(bei)企(qi)(qi)业(ye),具有该(gai)领域丰富的研(yan)发(fa)经(jing)验和深厚(hou)的技术积累(lei)。企(qi)(qi)业(ye)成立至今,累(lei)计销(xiao)售各类高端检(jian)测(ce)(ce)设备(bei)产品逾300余(yu)台套(tao),装(zhuang)机(ji)范围覆盖中国(guo)大陆及中国(guo)台湾数十条重要(yao)产线,并(bing)与(yu)京东方(fang)、TCL华星、深(shen)天(tian)马等(deng)国内(nei)多个主要平板显示制造(zao)企业建立了良好(hao)合(he)作关系。

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 公司核心产品自动光学(xue)检查机(AOI)系列,主要应(ying)用于平板显(xian)示前道制程的缺(que)陷检测,竞(jing)争(zheng)对手(shou)为以色列奥宝(bao)科技、韩国HBT等海(hai)外企业。目前,公司AOI产品有线阵(zhen)、面阵(zhen)、离(li)线、在线等不同种类(lei)和不同世代(dai)的(de)各种组(zu)合,种类(lei)覆盖(gai)范围与世界行业龙头(tou)奥宝(bao)科技处同一(yi)水平。

 中导光电此次交付的(de)CDOL设备(bei),是公司除AOI系(xi)列之外的(de)另一拳头产品。该设备主(zhu)要应(ying)用于平板显示前道制程领域的(de)关键线(xian)宽尺寸测(ce)量(liang),测(ce)量(liang)精度达到亚微米级(ji),重(zhong)复精度(3s)达到20nm,处于国内领(ling)先和国际先进水平。

 据相关(guan)专业人士观点,受全球经济指(zhi)数影响(xiang),平板显(xian)示行业新(xin)增产(chan)线投资增速虽有放(fang)缓,但由于产(chan)线总(zong)量处(chu)于高(gao)位(wei),在产(chan)线设备升(sheng)级(ji)改造(zao)方面仍(reng)有较大市场空(kong)间。此外,由于疫情(qing)因素影响(xiang),国外企业在设备运输、售后(hou)服务等方面的(de)保障能力受到(dao)较大限制,为国内企业拓展市场份额提供了良好机(ji)遇(yu)。


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